FGL系列雙溫區-管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃) FGL系列雙溫區-管式梯度爐專門設計用于有溫度梯度要求的CVD工藝。兩個溫區獨立控制,溫區可單獨使用。在同一腔體内實現不同的溫度差。 特點 u 程序控溫儀控制精準、可編輯、儲存并調用多段程序 u 爐殼結構,雙層爐殼風冷結構 u 采用不鏽鋼雙層密封法蘭,進、出氣配美标針閥 u 兩端可調節式法蘭支撐結構 u 超溫保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電 u LED高強度抗破壞全不鏽鋼按鈕
拓展選件: u爐内測量系統:(氧含量測量系統、溫度測量系統) u真空系統:(旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組) u氣氛系統:(浮子流量計、質量流量計) u監控系統:(溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控)
技術參數:
注:給出的溫度為工作管外測定,其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。
網址: www.0755data.cn 銷售熱線:0551-68998684 ,13966718548 方先生
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
查看次數: |
皖公網安備 34012302001011号