雙溫區CVD管式梯度爐 - 合肥費舍羅智能裝備有限公司

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FGL系列雙溫區-管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL系列雙溫區-管式梯度爐專門設計用于有溫度梯度要求的CVD工藝。兩個溫區獨立控制，溫區可單獨使用。在同一腔體内實現不同的溫度差。

特點

u 程序控溫儀控制精準、可編輯、儲存并調用多段程序

u 爐殼結構，雙層爐殼風冷結構

u 采用不鏽鋼雙層密封法蘭，進、出氣配美标針閥

u 兩端可調節式法蘭支撐結構

u 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電

u LED高強度抗破壞全不鏽鋼按鈕

拓展選件:

u爐内測量系統：（氧含量測量系統、溫度測量系統）

u真空系統：（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）

u氣氛系統：（浮子流量計、質量流量計）

u監控系統：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）

技術參數：

注：給出的溫度為工作管外測定，其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。

網址： www.0755data.cn

銷售熱線：0551-68998684 ，13966718548 方先生

郵箱：sales@facerom.com

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